درجة الحرارة وضغط الهواء في غرفة نظيفة

يتم إيلاء المزيد والمزيد من حماية البيئة ، خاصة مع زيادة الطقس الضباب. هندسة الغرف النظيفة هي واحدة من تدابير حماية البيئة. كيفية استخدام هندسة الغرف النظيفة للقيام بعمل جيد في حماية البيئة؟ دعنا نتحدث عن التحكم في هندسة الغرف النظيفة.

درجة الحرارة والرطوبة التحكم في غرفة نظيفة

يتم تحديد درجة حرارة ورطوبة المساحات النظيفة بشكل أساسي بناءً على متطلبات العملية ، ولكن عند تلبية متطلبات العملية ، يجب أن تؤخذ الراحة البشرية في الاعتبار. مع تحسين متطلبات نظافة الهواء ، هناك اتجاه لمتطلبات أكثر صرامة لدرجة الحرارة والرطوبة في العملية.

كمبدأ عام ، نظرًا لزيادة الدقة للمعالجة ، أصبحت متطلبات تذبذب درجة الحرارة أصغر وأصغر. على سبيل المثال ، في عملية الطباعة الحجرية وعملية التعرض لإنتاج الدوائر المتكاملة على نطاق واسع ، أصبح الفرق في معامل التمدد الحراري بين رقائق الزجاج والسيليكون المستخدمة كمواد قناع صغيرة بشكل متزايد.

يسبب رقاقة السيليكون بقطر 100 ميكرتر تمدد خطي قدره 0.24 μ م عندما ترتفع درجة الحرارة بمقدار 1 درجة. لذلك ، من الضروري وجود درجة حرارة ثابتة تبلغ ± 0.1 ℃ ، وقيمة الرطوبة منخفضة بشكل عام لأنه بعد التعرق ، سيتم تلوث المنتج ، خاصة في ورش عمل أشباه الموصلات التي تخاف من الصوديوم. يجب ألا يتجاوز هذا النوع من ورشة العمل 25 ℃.

الرطوبة المفرطة تسبب المزيد من المشاكل. عندما تتجاوز الرطوبة النسبية 55 ٪ ، سوف يتشكل التكثيف على جدار أنابيب مياه التبريد. إذا حدث في الأجهزة أو الدوائر الدقيقة ، فقد يتسبب ذلك في حوادث مختلفة. عندما تكون الرطوبة النسبية 50 ٪ ، يكون من السهل الصدأ. بالإضافة إلى ذلك ، عندما تكون الرطوبة مرتفعة للغاية ، سيتم امتصاص الغبار الذي يلتزم بسطح رقاقة السيليكون كيميائيًا على السطح عبر جزيئات الماء في الهواء ، وهو أمر يصعب إزالته.

كلما ارتفعت الرطوبة النسبية ، كلما كان من الصعب إزالة الالتصاق. ومع ذلك ، عندما تكون الرطوبة النسبية أقل من 30 ٪ ، يتم امتصاص الجزيئات أيضًا بسهولة على السطح بسبب عمل القوة الإلكتروستاتيكية ، ويكون عدد كبير من أجهزة أشباه الموصلات عرضة للانهيار. نطاق درجة الحرارة الأمثل لإنتاج رقاقة السيليكون هو 35-45 ٪.

ضغط الهواءيتحكمفي غرفة نظيفة 

بالنسبة لمعظم المساحات النظيفة ، من أجل منع التلوث الخارجي من الغزو ، من الضروري الحفاظ على الضغط الداخلي (الضغط الثابت) أعلى من الضغط الخارجي (الضغط الثابت). يجب أن يتوافق صيانة فرق الضغط بشكل عام للمبادئ التالية:

1. يجب أن يكون الضغط في المساحات النظيفة أعلى من ذلك في المساحات غير النظيفة.

2. يجب أن يكون الضغط في المساحات ذات مستويات النظافة العالية أعلى من ذلك في المساحات المجاورة ذات مستويات النظافة المنخفضة.

3. يجب فتح الأبواب بين الغرف النظيفة نحو الغرف ذات المستويات العالية للنظافة.

يعتمد الحفاظ على اختلاف الضغط على كمية الهواء النقي ، والتي يجب أن تكون قادرة على التعويض عن تسرب الهواء من الفجوة تحت هذا الاختلاف في الضغط. وبالتالي فإن المعنى المادي للاختلاف في الضغط هو مقاومة تسرب (أو تسلل) تدفق الهواء عبر فجوات مختلفة في غرفة نظيفة.