التحكم في درجة الحرارة وضغط الهواء في غرفة نظيفة

تحظى حماية البيئة باهتمام متزايد، خاصة مع تزايد الطقس الضبابي. تعد هندسة الغرف النظيفة أحد إجراءات حماية البيئة. كيفية استخدام هندسة الغرف النظيفة للقيام بعمل جيد في حماية البيئة؟ دعونا نتحدث عن التحكم في هندسة الغرف النظيفة.

التحكم في درجة الحرارة والرطوبة في غرفة نظيفة

يتم تحديد درجة الحرارة والرطوبة في المساحات النظيفة بشكل أساسي بناءً على متطلبات العملية، ولكن عند تلبية متطلبات العملية، يجب مراعاة راحة الإنسان. مع تحسن متطلبات نظافة الهواء، هناك اتجاه لمتطلبات أكثر صرامة لدرجة الحرارة والرطوبة أثناء العملية.

كمبدأ عام، نظرًا لزيادة دقة المعالجة، أصبحت متطلبات نطاق تقلبات درجات الحرارة أصغر فأصغر. على سبيل المثال، في عملية الطباعة الحجرية والتعرض لإنتاج الدوائر المتكاملة على نطاق واسع، أصبح الفرق في معامل التمدد الحراري بين رقائق الزجاج والسيليكون المستخدمة كمواد قناع صغيرًا بشكل متزايد.

تتسبب رقاقة السيليكون التي يبلغ قطرها 100 ميكرومتر في تمدد خطي قدره 0.24 ميكرومتر عندما ترتفع درجة الحرارة بمقدار درجة واحدة. لذلك، من الضروري وجود درجة حرارة ثابتة تبلغ ± 0.1 درجة مئوية، وتكون قيمة الرطوبة منخفضة بشكل عام لأنه بعد التعرق، سوف يتلوث المنتج، خاصة في ورش أشباه الموصلات التي تخاف من الصوديوم. يجب ألا يتجاوز هذا النوع من الورش 25 درجة مئوية.

الرطوبة الزائدة تسبب المزيد من المشاكل. عندما تتجاوز الرطوبة النسبية 55%، سوف يتشكل التكثيف على جدار أنبوب مياه التبريد. إذا حدث ذلك في الأجهزة الدقيقة أو الدوائر، فإنه يمكن أن يسبب حوادث مختلفة. عندما تكون الرطوبة النسبية 50%، فمن السهل أن تصدأ. بالإضافة إلى ذلك، عندما تكون الرطوبة مرتفعة جدًا، سيتم امتصاص الغبار الملتصق بسطح رقاقة السيليكون كيميائيًا على السطح من خلال جزيئات الماء في الهواء، وهو أمر يصعب إزالته.

كلما زادت الرطوبة النسبية، أصبح من الصعب إزالة الالتصاق. ومع ذلك، عندما تكون الرطوبة النسبية أقل من 30%، يتم أيضًا امتصاص الجزيئات بسهولة على السطح بسبب عمل القوة الكهروستاتيكية، ويكون عدد كبير من أجهزة أشباه الموصلات عرضة للانهيار. نطاق درجة الحرارة الأمثل لإنتاج رقاقة السيليكون هو 35-45%.

ضغط الهواءيتحكمفي غرفة نظيفة 

بالنسبة لمعظم المساحات النظيفة، ومن أجل منع غزو التلوث الخارجي، من الضروري الحفاظ على الضغط الداخلي (الضغط الساكن) أعلى من الضغط الخارجي (الضغط الساكن). يجب أن يتوافق الحفاظ على فرق الضغط بشكل عام مع المبادئ التالية:

1. يجب أن يكون الضغط في الأماكن النظيفة أعلى منه في الأماكن غير النظيفة.

2. يجب أن يكون الضغط في الأماكن ذات مستويات النظافة العالية أعلى منه في الأماكن المجاورة ذات مستويات النظافة المنخفضة.

3. يجب فتح الأبواب بين الغرف النظيفة باتجاه الغرف ذات مستويات النظافة العالية.

ويعتمد الحفاظ على فرق الضغط على كمية الهواء النقي، الذي ينبغي أن يكون قادرًا على تعويض تسرب الهواء من الفجوة تحت فرق الضغط هذا. لذا فإن المعنى المادي لفرق الضغط هو مقاومة تسرب (أو تسلل) تدفق الهواء عبر الفجوات المختلفة في الغرفة النظيفة.