1. خصائص التصميم
بسبب متطلبات التشغيل والتصغير والتكامل والدقة لمنتجات الرقائق، فإن متطلبات تصميم غرفة الرقائق النظيفة للتصنيع والإنتاج تختلف بشكل كبير عن تلك الموجودة في المصانع العامة.
(1) متطلبات النظافة: تتطلب بيئة إنتاج الرقائق متطلبات تحكم عالية لعدد جزيئات الهواء؛
(2) متطلبات إحكام الغلق: تقليل الفجوات الهيكلية وتعزيز إحكام غلق الهياكل الفجوية لتقليل تأثير تسرب الهواء أو التلوث؛
(3) متطلبات نظام المصنع: تلبي أنظمة الطاقة والكهروميكانيكية الخاصة احتياجات آلات العملية، مثل الغازات الخاصة والمواد الكيميائية ومياه الصرف الصحي النقية وما إلى ذلك؛
(4) متطلبات مكافحة الاهتزازات الدقيقة: تتطلب معالجة الرقائق دقة عالية، ويجب تقليل تأثير الاهتزاز على المعدات؛
(5) متطلبات المساحة: إن مخطط أرضية المصنع بسيط، مع تقسيمات وظيفية واضحة، وأنابيب مخفية، وتوزيع معقول للمساحة، مما يسمح بالمرونة عند تحديث عمليات الإنتاج والمعدات.
2. التركيز على البناء
(١) فترة بناء أقصر. وفقًا لقانون مور، ستتضاعف كثافة تكامل الرقائق كل ١٨ إلى ٢٤ شهرًا في المتوسط. مع تحديث المنتجات الإلكترونية وتكرارها، سيزداد الطلب على مصانع الإنتاج. ونظرًا للتحديث السريع للمنتجات الإلكترونية، فإن العمر الافتراضي الفعلي لمصانع التنظيف الإلكتروني يتراوح بين ١٠ و١٥ عامًا فقط.
(٢) متطلبات تنظيم موارد أعلى. تتميز غرف العمليات الإلكترونية النظيفة عادةً بحجم بناء كبير، وفترة بناء قصيرة، وعمليات متداخلة، وصعوبة في تدوير الموارد، وتركيز أكبر في استهلاك المواد الرئيسية. يُسبب هذا التنظيم المُحكم للموارد ضغطًا كبيرًا على إدارة الخطة العامة ومتطلبات تنظيم موارد عالية. في مرحلة الأساسات والمرحلة الرئيسية، ينعكس ذلك بشكل رئيسي على العمالة، وقضبان الفولاذ، والخرسانة، ومواد الهيكل، وآلات الرفع، وغيرها. أما في مرحلة تركيب المعدات الكهروميكانيكية والديكورات، فينعكس ذلك بشكل رئيسي على متطلبات الموقع، والأنابيب المختلفة، والمواد المساعدة لآلات البناء، والمعدات الخاصة، وغيرها.
(3) تتجلى متطلبات جودة البناء العالية بشكل رئيسي في ثلاثة جوانب: الاستواء، وإحكام الإغلاق، وانخفاض مستوى الغبار في البناء. بالإضافة إلى حماية المعدات الدقيقة من التلف البيئي، والاهتزازات الخارجية، والرنين البيئي، يُعد استقرار المعدات نفسها بنفس الأهمية. لذلك، يبلغ شرط استواء الأرضية 2 مم/2 متر. يلعب ضمان إحكام الإغلاق دورًا هامًا في الحفاظ على فروق الضغط بين مناطق التنظيف المختلفة، وبالتالي التحكم في مصادر التلوث. يجب مراقبة تنظيف غرفة التنظيف بدقة قبل تركيب معدات تنقية الهواء وتكييفه، ومراقبة الوصلات المعرضة للغبار أثناء تحضير البناء وبعده.
(4) متطلبات عالية لإدارة وتنسيق عقود الباطن. عملية بناء الغرف النظيفة الإلكترونية معقدة، وشديدة التخصص، وتتطلب العديد من المقاولين من الباطن المتخصصين، وتشهد عمليات متداخلة واسعة النطاق بين مختلف التخصصات. لذلك، من الضروري تنسيق العمليات وأسطح العمل في كل تخصص، وتقليل العمليات المتداخلة، وفهم الاحتياجات الفعلية لتسليم الواجهات بين التخصصات، والنجاح في تنسيق وإدارة المقاول العام.
وقت النشر: ٢٢ سبتمبر ٢٠٢٥