الخصائص العامة لغرفة التنظيف عالية النظافة

1. خصائص التصميم

نظراً لمتطلبات التوظيف والتصغير والتكامل والدقة لمنتجات الرقائق، فإن متطلبات تصميم غرفة الرقائق النظيفة للتصنيع والإنتاج تختلف اختلافاً كبيراً عن تلك الخاصة بالمصانع العامة.

(1) متطلبات النظافة: بيئة إنتاج الرقائق لها متطلبات تحكم عالية فيما يتعلق بعدد جزيئات الهواء؛

(2) متطلبات منع تسرب الهواء: تقليل الفجوات الهيكلية وتعزيز منع تسرب الهواء في الهياكل ذات الفجوات لتقليل تأثير تسرب الهواء أو التلوث؛

(3) متطلبات نظام المصنع: تلبي أنظمة الطاقة والأنظمة الكهروميكانيكية الخاصة احتياجات آلات المعالجة، مثل الغازات الخاصة والمواد الكيميائية ومياه الصرف الصحي النقية وما إلى ذلك؛

(4) متطلبات مقاومة الاهتزازات الدقيقة: تتطلب معالجة الرقائق دقة عالية، ويجب تقليل تأثير الاهتزاز على المعدات؛

(5) متطلبات المساحة: مخطط أرضية المصنع بسيط، مع تقسيمات وظيفية واضحة، وخطوط أنابيب مخفية، وتوزيع معقول للمساحة، مما يسمح بالمرونة عند تحديث عمليات الإنتاج والمعدات.

2. التركيز على البناء

(1) فترة بناء أقصر. وفقًا لقانون مور، تتضاعف كثافة تكامل الرقائق كل 18 إلى 24 شهرًا في المتوسط. ومع تحديث وتطوير المنتجات الإلكترونية، يتزايد الطلب على مصانع الإنتاج. ونظرًا للتحديث السريع للمنتجات الإلكترونية، فإن العمر الافتراضي الفعلي لمصانع الإلكترونيات النظيفة يتراوح بين 10 و15 عامًا فقط.

(2) متطلبات تنظيم الموارد العالية. تتميز غرف التنظيف الإلكترونية عمومًا بحجم بناء كبير، وفترة تنفيذ قصيرة، وعمليات متداخلة بشكل وثيق، وصعوبة في تدوير الموارد، واستهلاك مركز للمواد الأساسية. ينتج عن هذا التنظيم المحكم للموارد ضغط كبير على إدارة الخطة العامة ومتطلبات تنظيم موارد عالية. في مرحلتي الأساسات والإنشاءات الرئيسية، يتجلى ذلك بشكل أساسي في العمالة، وقضبان الصلب، والخرسانة، ومواد الهيكل، وآلات الرفع، وما إلى ذلك. أما في مرحلة الكهروميكانيكا والديكور وتركيب المعدات، فيتجلى ذلك بشكل أساسي في متطلبات الموقع، والأنابيب المختلفة، والمواد المساعدة لآلات البناء، والمعدات الخاصة، وما إلى ذلك.

(3) تتجلى متطلبات الجودة العالية للبناء بشكل أساسي في ثلاثة جوانب: استواء الأرضية، وإحكام إغلاقها، وتقليل الغبار. فبالإضافة إلى حماية المعدات الدقيقة من التلف البيئي والاهتزازات الخارجية والرنين البيئي، يُعد استقرار المعدات نفسها بنفس القدر من الأهمية. لذا، يُشترط استواء الأرضية بمقدار 2 مم/2 م. ويلعب ضمان إحكام الإغلاق دورًا هامًا في الحفاظ على فروق الضغط بين المناطق النظيفة المختلفة، وبالتالي التحكم في مصادر التلوث. يجب مراقبة تنظيف الغرفة النظيفة بدقة قبل تركيب معدات ترشيح وتكييف الهواء، والتحكم في نقاط التقاء المواد المعرضة للغبار أثناء التحضير للبناء وبعد التركيب.

(4) متطلبات عالية لإدارة وتنسيق عقود المقاولين من الباطن. تتسم عملية بناء غرف التنظيف الإلكترونية بالتعقيد والتخصص العالي، وتضم العديد من المقاولين من الباطن المتخصصين، وتتسم بتداخل واسع النطاق بين مختلف التخصصات. لذلك، من الضروري تنسيق عمليات كل تخصص ومواقع عمله، والحد من التداخل بين التخصصات، وفهم الاحتياجات الفعلية لتسليم المهام بينها، والقيام بعمل جيد في تنسيق وإدارة المقاول الرئيسي.