متطلبات تصميم الغرفة النظيفة الإلكترونية

بالإضافة إلى الرقابة الصارمة على الجسيمات، تُطبّق غرف الإلكترونيات النظيفة، التي تُمثّلها ورش إنتاج الرقائق وورش تصنيع الدوائر المتكاملة الخالية من الغبار وورش تصنيع الأقراص، متطلبات أكثر صرامةً فيما يتعلق بضبط درجة الحرارة والرطوبة والإضاءة والصدمات الدقيقة. ويتمّ إزالة تأثير الكهرباء الساكنة على منتجات الإنتاج بدقة، بما يُمكّن البيئة من تلبية متطلبات عملية إنتاج المنتجات الإلكترونية في بيئة نظيفة.

يجب تحديد درجة الحرارة والرطوبة للغرفة النظيفة الإلكترونية وفقًا لمتطلبات عملية الإنتاج. عندما لا توجد متطلبات محددة لعملية الإنتاج، يمكن أن تكون درجة الحرارة 20-26 درجة مئوية والرطوبة النسبية 30٪ -70٪. يمكن أن تكون درجة حرارة غرفة الموظفين النظيفة وغرفة المعيشة 16-28 درجة مئوية. وفقًا للمعيار الوطني الصيني GB-50073، والذي يتماشى مع معايير ISO الدولية، فإن مستوى نظافة هذا النوع من الغرف النظيفة هو 1-9. من بينها، الفئة 1-5، نمط تدفق الهواء هو تدفق أحادي الاتجاه أو تدفق مختلط؛ نمط تدفق الهواء الفئة 6 هو تدفق غير أحادي الاتجاه وتغيير الهواء هو 50-60 مرة / ساعة؛ نوع تدفق الهواء الفئة 7 هو تدفق غير أحادي الاتجاه وتغيير الهواء هو 15-25 مرة / ساعة؛ نوع تدفق الهواء الفئة 8-9 هو تدفق غير أحادي الاتجاه وتغيير الهواء هو 10-15 مرة / ساعة.

وفقًا للمواصفات الحالية، لا ينبغي أن يكون مستوى الضوضاء داخل الغرفة النظيفة الإلكترونية من الفئة 10000 أكبر من 65 ديسيبل (أ).

1. لا ينبغي أن تكون النسبة الكاملة لغرفة التنظيف ذات التدفق الرأسي في غرفة التنظيف الإلكترونية أقل من 60٪، ولا ينبغي أن تكون غرفة التنظيف ذات التدفق الأحادي الاتجاه الأفقي أقل من 40٪، وإلا فسيكون التدفق أحادي الاتجاه جزئيًا.

2. يجب ألا يقل فرق الضغط الساكن بين الغرفة النظيفة الإلكترونية والخارج عن 10 باسكال، ويجب ألا يقل فرق الضغط الساكن بين المناطق النظيفة والمناطق غير النظيفة ذات نظافة الهواء المختلفة عن 5 باسكال.

3. يجب أن تأخذ كمية الهواء النقي في غرفة نظيفة إلكترونية من الفئة 10000 قيمة العنصرين التاليين.

4. تعويض مجموع حجم الهواء الخارج من الداخل وحجم الهواء النقي المطلوب للحفاظ على قيمة الضغط الإيجابي الداخلي.

5. تأكد من أن كمية الهواء النقي المزود لغرفة التنظيف للشخص الواحد في الساعة لا تقل عن 40 مترًا مربعًا.