متطلبات تصميم الغرفة النظيفة الإلكترونية

بالإضافة إلى التحكم الصارم في الجسيمات ، فإن غرفة نظيفة إلكترونية تمثلها ورش عمل إنتاج الرقائق ، وورش عمل متكاملة خالية من الغبار ، وورش عمل تصنيع القرص ، لها متطلبات أكثر صرامة للتحكم في درجة الحرارة والرطوبة والإضاءة والصدمة الدقيقة. قم بإزالة تأثير الكهرباء الثابتة بدقة على منتجات الإنتاج ، بحيث يمكن للبيئة تلبية متطلبات عملية الإنتاج للمنتجات الإلكترونية في بيئة نظيفة.

يجب تحديد درجة حرارة ورطوبة الغرفة النظيفة الإلكترونية وفقًا لمتطلبات عملية الإنتاج. عندما لا تكون هناك متطلبات محددة لعملية الإنتاج ، يمكن أن تكون درجة الحرارة 20-26 درجة مئوية والرطوبة النسبية 30 ٪ -70 ٪. يمكن أن تكون درجة حرارة غرفة تنظيف الموظفين وغرفة المعيشة 16-28 ℃. وفقًا للمعيار الوطني الصيني GB-50073 ، والذي يتماشى مع معايير ISO الدولية ، فإن مستوى النظافة لهذا النوع من الغرف النظيفة هو 1-9. من بينها ، الفئة 1-5 ، نمط تدفق الهواء هو تدفق أحادي الاتجاه أو التدفق المختلط ؛ نمط تدفق الهواء من الفئة 6 هو التدفق غير الاتجاهي وتغيير الهواء هو 50-60 مرة/ساعة ؛ نوع تدفق الهواء من الفئة 7 هو تدفق غير الاتجاهي ، وتغيير الهواء هو 15-25 مرة/ساعة ؛ نوع تدفق الهواء من الفئة 8-9 هو تدفق غير الاتجاهي ، وتغيير الهواء هو 10-15 مرة/ساعة.

وفقًا للمواصفات الحالية ، لا ينبغي أن يكون مستوى الضوضاء داخل غرفة نظيفة إلكترونية من الفئة 10،000 أكبر من 65 ديسيبل (أ).

1. يجب ألا تقل النسبة الكاملة للغرفة النظيفة للتدفق العمودي في الغرفة النظيفة الإلكترونية عن 60 ٪ ، ولا ينبغي أن تكون غرفة تنظيف التدفق الأفقي أحادي الاتجاه أقل من 40 ٪ ، وإلا فإنها ستكون تدفقًا جزئيًا أحادي الاتجاه.

2. لا ينبغي أن يكون الفرق في الضغط الثابت بين الغرفة النظيفة الإلكترونية والهواء الطلق أقل من 10pa ، ويجب ألا يقل الفرق في الضغط الثابت بين المناطق النظيفة والمناطق غير النسيلة ذات نظافة الهواء المختلفة عن 5pa.

3. يجب أن تأخذ كمية الهواء النقي في غرفة نظيفة إلكترونية من الفئة 10000 قيمة العنصرين التاليين.

4. تعويض مجموع حجم هواء العادم الداخلي وحجم الهواء النقي المطلوب للحفاظ على قيمة الضغط الإيجابي الداخلي.

5. تأكد من أن كمية الهواء النقي المقدم إلى غرفة تنظيف للشخص الواحد في الساعة لا تقل عن 40 متر مربع.