متطلبات تصميم الغرفة النظيفة الإلكترونية

بالإضافة إلى التحكم الصارم في الجسيمات، فإن الغرفة النظيفة الإلكترونية التي تمثلها ورش إنتاج الرقائق وورش الدوائر المتكاملة الخالية من الغبار وورش تصنيع الأقراص لديها أيضًا متطلبات أكثر صرامة للتحكم في درجة الحرارة والرطوبة والإضاءة والصدمات الدقيقة. إزالة تأثير الكهرباء الساكنة على منتجات الإنتاج بشكل صارم، حتى تتمكن البيئة من تلبية متطلبات عملية إنتاج المنتجات الإلكترونية في بيئة نظيفة.

يجب تحديد درجة الحرارة والرطوبة للغرفة النظيفة الإلكترونية وفقًا لمتطلبات عملية الإنتاج. عندما لا تكون هناك متطلبات محددة لعملية الإنتاج، يمكن أن تكون درجة الحرارة 20-26 درجة مئوية والرطوبة النسبية 30%-70%. درجة حرارة غرفة الموظفين النظيفة وغرفة المعيشة يمكن أن تكون 16-28 درجة مئوية. وفقا للمعيار الوطني الصيني GB-50073، والذي يتماشى مع معايير ISO الدولية، فإن مستوى النظافة لهذا النوع من الغرف النظيفة هو 1-9. من بينها، الفئة 1-5، نمط تدفق الهواء هو تدفق أحادي الاتجاه أو تدفق مختلط؛ نمط تدفق الهواء من الفئة 6 هو تدفق غير أحادي الاتجاه وتغيير الهواء هو 50-60 مرة / ساعة؛ نوع تدفق الهواء من الفئة 7 هو تدفق غير أحادي الاتجاه، وتغيير الهواء هو 15-25 مرة/ساعة؛ نوع تدفق الهواء من الفئة 8-9 هو تدفق غير أحادي الاتجاه، وتغيير الهواء هو 10-15 مرة/ساعة.

وفقًا للمواصفات الحالية، يجب ألا يزيد مستوى الضوضاء داخل الغرفة النظيفة الإلكترونية فئة 10000 عن 65 ديسيبل (A).

1. يجب ألا تقل النسبة الكاملة للغرفة النظيفة ذات التدفق الرأسي في الغرفة النظيفة الإلكترونية عن 60%، ويجب ألا تقل الغرفة النظيفة ذات التدفق الأفقي أحادي الاتجاه عن 40%، وإلا فسيكون تدفقًا جزئيًا أحادي الاتجاه.

2. يجب ألا يقل فرق الضغط الساكن بين الغرفة النظيفة الإلكترونية والخارجية عن 10Pa، ويجب ألا يقل فرق الضغط الساكن بين المناطق النظيفة والمناطق غير النظيفة ذات نظافة الهواء المختلفة عن 5Pa.

3. يجب أن تأخذ كمية الهواء النقي في غرفة نظيفة إلكترونية فئة 10000 قيمة العنصرين التاليين.

4. قم بتعويض مجموع حجم الهواء العادم الداخلي وحجم الهواء النقي المطلوب للحفاظ على قيمة الضغط الإيجابي الداخلي.

5. التأكد من أن كمية الهواء النقي الموردة للغرفة النظيفة للشخص الواحد في الساعة لا تقل عن 40 مترا مربعا.