متطلبات تصميم غرفة نظيفة إلكترونية

إضافةً إلى التحكم الدقيق في الجسيمات، تتطلب غرف الإنتاج الإلكترونية النظيفة، التي تشمل ورش إنتاج الرقائق وورش الدوائر المتكاملة الخالية من الغبار وورش تصنيع الأقراص، متطلبات أكثر صرامة فيما يتعلق بالتحكم في درجة الحرارة والرطوبة والإضاءة والصدمات الكهربائية الدقيقة. كما يجب إزالة تأثير الكهرباء الساكنة على المنتجات بشكل كامل، لضمان بيئة نظيفة تلبي متطلبات عملية إنتاج المنتجات الإلكترونية.

يُحدد مستوى درجة الحرارة والرطوبة في غرفة الإلكترونيات النظيفة وفقًا لمتطلبات عملية الإنتاج. في حال عدم وجود متطلبات محددة، يمكن أن تتراوح درجة الحرارة بين 20 و26 درجة مئوية، والرطوبة النسبية بين 30% و70%. أما درجة حرارة غرفة الأفراد النظيفة وغرفة المعيشة، فيمكن أن تتراوح بين 16 و28 درجة مئوية. ووفقًا للمعيار الوطني الصيني GB-50073، المتوافق مع معايير ISO الدولية، يتراوح مستوى نظافة هذا النوع من الغرف النظيفة بين 1 و9. ففي الفئات من 1 إلى 5، يكون تدفق الهواء أحادي الاتجاه أو مختلطًا؛ أما في الفئة 6، فيكون تدفق الهواء غير أحادي الاتجاه، ويتراوح معدل تغيير الهواء بين 50 و60 مرة في الساعة؛ وفي الفئة 7، يكون تدفق الهواء غير أحادي الاتجاه، ويتراوح معدل تغيير الهواء بين 15 و25 مرة في الساعة؛ وفي الفئتين 8 و9، يكون تدفق الهواء غير أحادي الاتجاه، ويتراوح معدل تغيير الهواء بين 10 و15 مرة في الساعة.

وفقًا للمواصفات الحالية، يجب ألا يتجاوز مستوى الضوضاء داخل غرفة نظيفة إلكترونية من الفئة 10000 65 ديسيبل (A).

1. يجب ألا تقل النسبة الكاملة للتدفق الرأسي في غرفة نظيفة إلكترونية عن 60%، ويجب ألا تقل نسبة التدفق الأفقي أحادي الاتجاه في غرفة نظيفة عن 40%، وإلا فسيكون التدفق أحادي الاتجاه جزئيًا.

2. يجب ألا يقل فرق الضغط الساكن بين غرفة الإلكترونيات النظيفة والخارج عن 10 باسكال، ويجب ألا يقل فرق الضغط الساكن بين المناطق النظيفة والمناطق غير النظيفة ذات مستويات نظافة الهواء المختلفة عن 5 باسكال.

3. يجب أن تأخذ كمية الهواء النقي في غرفة نظيفة إلكترونية من الفئة 10000 قيمة العنصرين التاليين.

4. تعويض مجموع حجم هواء العادم الداخلي وحجم الهواء النقي المطلوب للحفاظ على قيمة الضغط الإيجابي الداخلي.

5. تأكد من أن كمية الهواء النقي التي يتم توفيرها للغرفة النظيفة لكل شخص في الساعة لا تقل عن 40 مترًا مربعًا.